Informationen über Geräteausstattung Laser
|
, Elektrodenerzeugung durch abbildende Maskentechnik und UV-Ablation, Leiterbahn- und Elektrodenerzeugung im Direktschreibverfahren, bisher erreichte minimale Strukturbreite 1,0 µm, optimiert für Wellenlänge 248 nm Excimerlaser KrF Ausgangsenergie: 600 mJ bei 248 nm Impulsdauer: 22 ns Maximalfrequenz 50 Hz Excimerlaser XeCl Ausgangsenergie: 500 mJ bei 308 nm Impulsdauer: 22 ns Maximalfrequenz 50 Hz Ausgangsenergie: 600 mJ bei 248 nm Impulsdauer: 22 ns Maximalfrequenz 50 Hz Ausgangsenergie: 500 mJ bei 308 nm Impulsdauer: 22 ns Maximalfrequenz 50 Hz Ausgangsenergie: 1000 mJ bei 1054 nm Impulsdauer: 8 ns Maximalfrequenz 10 Hz nur anregbar mit Excimerlaser XeCl Ausgangsenergie und Wellenlänge sind abhängig vom verwendeten Farbstoff
|
