Informationen über Inspektion von Zellen
Inspektion von Zellen
Intego GmbH
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Die komplexen Prozessschritte der Zellfertigung müssen hoch effizient geführt und daher ständig überwacht werden. Für eine frühzeitige Erkennung von fehlerhaften Zellen/Wafern und Produktionsdrifts helfen wir Ihnen mit unseren individuellen Prüfmodulen, Geometrieprüfung beim Loader Die Geometrien der Zellen/Wafer werden in der Linie hochgenau vermessen um damit Fehler wie etwa Ausbrüche, Risse und Brüche sowie Fehler auf der Oberfläche, z.B. Verschmutzungen, zu erkennen., ARC Der Prüfumfang reicht von einer einfachen Farbklassifikation mittels Farbkamera bis hin zur Bestimmung der optischen Parameter (Schichtdicken, Brechzahlen, Extinktionskoeffizienten) der ARC-Schichten mittels flächiger spektraler Reflektometrie., Druck- und Laserkontrolle Mit Auflösungen von 75 µm bis zu 10 µm lassen sich die einzelnen Druck- (front contact, back contact, back field) oder Laserprozesse in der Linie überwachen. Die Fehlererkennung reicht von der einfachen Druckbild- und Positionskontrolle (auch von Laserlöchern) über Fingerverbreiterungen und Pastenrückstände bis hin zur Profil-vermessung. |
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