Informationen über Mikrosystemtechnik
Mikrosystemtechnik
FRT Fries Research & Technology GmbH
| Pagecode-Funktion Nutzen Sie den Pagecode einer Seite, um sie ohne Umwege direkt zu öffnen.Die FRT Messgeräteserie MFE (Metrology for Front End) richtet sich an die Hersteller von strukturierten Wafern, Masken, MEMS und Ähnlichem. Um dem Bedarf gerecht zu werden, handelt es sich ausschließlich um Geräte für den Einsatz im Reinraum. Die Messmethoden werden auf die jeweilige Aufgabe abgestimmt.Der MicroGlider® ist das hochpräzise Messsystem von FRT für besonders genaue Messaufgaben. Ein luftgelagerter Rastertisch, der kontaktlos durch Linearmotoren angetrieben wird, erreicht durch den berührungslosen Antrieb wesentlich bessere Führungsgenauigkeit und deutlich geringeres Höhenrauschen als bei mechanisch gelagerten Achsen.Der MicroProf® ist der Alleskönner von FRT – konstruiert im Baukastenprinzip avanciert er durch seine vielfältigen Anwendungsgebiete zum echten Verwandlungskünstler. Die einfache und intuitive Bedienung sowie die Möglichkeit zur Einrichtung automatischer Messabläufe sparen wertvolle Zeit am Arbeitsplatz und führen zu sofort sichtbaren Ergebnissen. |
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