Informationen über Planarmotoren
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Planar-Servomotoren XY-Bewegungen auf einem Luftlager durch einen Planar-Servo-Schrittmotor mit integrierter Wegmessung. Über Kopf und auch im Vakuum betreibbar. Planar-Servomotor LMSP Der Planar-Servomotor LMSP ist ebenfalls ein Direktantrieb, besitzt integrierte Wegmesssensoren und arbeitet mit Positionsregelung (closed loop).XY-Tisch mit Direktantriebclosed loop durch integrierte WegmessungSchrittmotor ermöglicht einfache Antriebselektronikverschleißfreie Luftlagerungkeine extern messbaren Magnetfelderpraktisch keine Erwärmungüber Kopf einbaubarStatorfläche bis 1000 x 1000 mmvakuumtauglich
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