Leitfähige transparente Metalloxide (TCO) spielen bei der Herstellung von Flüssigkristall- und OLED-Diplays als Leiter und Anodenmaterial eine bedeutende Rolle. Wie bei jeder anderen Dünnschichtanwendung ist eine genaue Kenntnis der Schichtdicke auch in diesem Fall kritisch. Für LC-Displays bedeutet das eine genaue Bestimmung der Dicke des Polyamids und der Flüssigkristallschicht. In der OLED-Technologie sind die Dicken der lichtemittierenden bzw. ladungsträgerinjizierenden Schichten und der Einkapselungs-Schicht wichtig. Optische Methoden für die Charakterisierung von Mehrschichtanordnungen wie z.B. spektrale Reflexion oder Ellipsometrie setzen voraus, dass für jede Schicht in der Anordnung die Dicke und die optischen Konstanten (Brechungsindex und k) entweder durch direkte Messung oder mathematische Modellierung genau bekannt sind. Die besonderen Eigenschaften von Indium-Zinn-Oxid (ITO) und anderen TCOs, die diese Materialien für Display-Anwendungen so geeignet machen, erschweren gleichzeitig deren Messung bzw. Modellierung. Das macht wiederum die Bestimmung der optischen Konstanten der darüber liegenden Schichten sehr schwierig.
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