Informationen über Inspektion von Silizium-Blöcken
Inspektion von Silizium-Blöcken
Intego GmbH
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Aus dem Siliziumrohmaterial züchtet man kristalline Ingots die in Siliziumblöcke zersägt werden. Vernünftigerweise sollten Fehlerteile schnellstmöglich aussortiert und gar nicht erst weiter prozessiert werden. Unsere ORION Blockprüfsysteme bieten Lösungen vor dem Polieren und dem Wafersägen: Die automatische Prüfung von Siliziumsäulen ist sowohl für einen voll automatisierten Produktionsablauf als auch für eine manuelle Bedienung als Stand-Alone-System (z.B. für Forschungszwecke) geeignet., Erkennung kleinster Strukturen von SiN/SiC Einschlüssen, Auflösung bis zu 100 µm, Erstellung von Schnittvorschlägen, 3D Darstellung der Einschlüsse von einzelnen Blöcken und kompletter Ingots, Wartungsfreie NIR Beleuchtung, Präzise Längen-, Breiten-, und Höhenvermessung, Bestimmung der Winkligkeit, Geradheit, Ebenheit und Schräge, Vermessung der Fasen, Erkennung von Absplitterungen, Rillen oder anderen Fehlern, Erstellung von Schleifvorschläge, Blockgrößen von 125x125x100 mm3 bis 210x210x800 mm3 |
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