Die Mikrosystemtechnik benötigt kleine, aber sehr präzise Bauteile - selbst die Hilfsmittel für ihre Herstellung unterliegen diesem Anspruch. Mit der Hartbearbeitung fertigt die BCE Kraftübertrager, Zungen und Positionierstifte bis auf 1 µm genau. Der Anspruch an eine Keramik in diese Technologie bezieht sich meist auf die Verschleißbeständigkeit, um die hohe Präzision möglichst lange zu erhalten. Als Hightech Werkstoff kommt daher in den meisten Fällen ZrO2 zum Einsatz, da sich hier präzise Oberflächen in Verbindung mit großer Zähigkeit und Festigkeit realisieren lassen. Außerdem korreliert der angepasste Wärmedehnungskoeffizient hervorragend mit den restlichen metallischen Komponenten.
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