Mikrowellen sind nichtionisierende elektromagnetische Strahlen im Frequenzbereich zwischen 300 MHz und 300 GHz. Die Anwendungsgebiete für Mikrowellen sind weit gestreut und reichen von der Kommunikationstechnologie über Radaranwendungen bis hin zur Erwärmung von Materialien und der Erzeugung von Plasmen. Am Fraunhofer ICT beschäftigt sich die Arbeitsgruppe Mikrowellen- und Plasmatechnologie mit der Entwicklung von Mikrowellen- und Plasmaprozessen für den Einsatz in industriellen Prozessen. Dabei ist am Fraunhofer ICT die gesamte Kette für eine erfolgreiche Entwicklung vorhanden. Die Kompetenz in der Mikrowellen- und Plasmatechnologie geht weit über einfache Erwärmung dielektrischer Materialien und einfache Oberflächenmodifikation hinaus. Schwerpunkte bilden die homogene und reproduzierbare Erwärmung dielektrischer Materialien sowie die spezielle Applikation mikrowelleninduzierter Plasmen für die Beschichtung und Erzeugung von UV-Licht mit angepasster spektraler Intensität. Die Entwicklung dieser Prozesse ist eng mit der Entwicklung neuer Mikrowelleneinkoppelsysteme in unserem Hause verknüpft, die einerseits für die Erwärmung oder zur Plasmaerzeugung dienen. Am Fraunhofer ICT wird besonders auf folgenden Gebieten für industrielle Anwendungen geforscht und entwickelt.
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